Mentor、マスク描画/検査装置のニューフレアテクノロジーと連携強化

2011年9月21日、Mentor Grapphicsとマスク描画装置、マスク検査装置を手掛けるニューフレアテクノロジー社は両社のコラボレーション強化を発表した。

今回発表された両社のコラボレーション強化は、高度なマスク描画の実現を目的としたもので、Mentorのマスク作成ほか各種マスクデータ準備ツールやフラクチャリング・ツールの共同販売とサポートを推進するもの。

具体的には、ニューフレアテクノロジーのマスク描画装置「EBM-3000」から「EBM-8000」シリーズで使用される以下のツールがその対象となっている。

・Calibre FRACTUREt

・Calibre FRACTUREv

・Calibre MDPmerge

・Calibre MDPverify

・Calibre nmMPC

・Calibre MDPview

※メンター・グラフィックス・ジャパン株式会社

※株式会社ニューフレアテクノロジー