Magmaが新製品となるファブ解析フレームワーク「Excalibur-Litho」をリリース

2011年3月30日、Magmaは、新製品ファブ解析フレームワーク「Excalibur-Litho」のリリースを発表した。

発表によると新製品「Excalibur-Litho」は、先端プロセスノードでの歩留まり向上を目的としたファブ解析フレームワークで、半導体製造ラインからのリアルタイムなデータをCAD情報と統合し、高度なデータ解析、観測、プロセス制御を実現する。

具体的には、半導体製造装置側からの欠陥情報、計測情報、装置の履歴情報等と設計データとを統合して歩留まり低下の原因（欠陥）を解析する事が可能で、従来のランダム欠陥解析手法からシステマティックな欠陥解析手法へと解析手法を手助けし、歩留まりの劇的な改善を実現する。

「Excalibur-Litho」は、殆どの診断ツールや歩留まり解析データベースと互換性のある、Magma独自のオープン・アーキテクチャー・データベースで構築されており、既に半導体製造装置最大手のApplied Materialsでは、この「Excalibur-Litho」と自社の診断システムを統合して運用。様々な顧客の先端プロセスチップの歩留まりを急激に向上させているという。

※マグマ・デザイン・オートメーション株式会社