STARC、ばらつき及び歩留まり考慮設計メソドロジの主要ツールとしてメンターの「Calibre LFD」を導入

2008年3月27日、メンター・グラフィックスは、STARCが同社の「Calibre LFD」を導入したことを発表した。

プレスリリース：http://www.mentorg.co.jp/news/2008/080327.html

メンターの発表によると、STARCは、開発中のばらつきおよび歩留まり考慮設計メソドロジの構成要素である「リソグラフィ・フレンドリ設計フロー」に対して、「Calibre LFD」ツールが使用できることを確認。STARCAD-CELプロジェクトの一環として、リソグラフィ変動の影響を予測するために「Calibre LFD」を導入することになった。

「Calibre LFD」は、プロセスの変動をとらえてレイアウトの確実性を高めることができるツールで、レイアウト設計者が設計の早い段階で特定のリソグラフィック・プロセス・ウィンドウ下でどのようにレイアウトが描画されるかを確認することが可能。すでに富士通など大手IDMが採用している。

今回の採用について、STARCの西口 信行氏（執行役員、開発第1部長）は、プロセス変動を意識した設計フローを構築するには、製造プロセスの変動を正確にモデル化したリソグラフィ・プロセスモデルを取り入れることが重要だとコメントしている。

※メンター・グラフィックス・ジャパン株式会社
http://www.mentorg.co.jp

※STARC（株式会社半導体理工学研究センター）
http://www.starc.jp