東芝が米Ponteの新たなDFM技術を導入

2008年3月31日、イールド解析ツールを手掛ける米Ponte Solutions社は、同社の最新DFM技術が東芝セミコンダクター社に導入された事を発表した。

プレスリリース：http://www.ponte.com/?p=press&id=26（英文）

東芝は、元々Ponteの提供するモデル・ベースのイールド解析ツール「Yield Analyzer」のユーザーで、今回導入したのは今年1月に発表されたばかりの新技術。「Yield Analyzer」（最近はYA Systemと呼んでいる）の新機能として追加された同技術は、ウエハー上のコンタクトとビアをモデリングし解析するもので、東芝は同技術を導入する事で標準的なTCAD環境を上回るイールド解析を実現。これにより、製造側でのプロセス調整作業が削減でき、より早くより低コストなプロセス開発が可能になるという。

※Ponte 2008年1月21日のニュースリリース（新機能の追加）
http://www.ponte.com/?p=press&id=25

※Ponte Solutions
http://www.pontesolutions.com