ルネサス、28nmフローでシノプシスのOPCソリューション「Proteus」を採用

2010年3月24日、シノプシスは、ルネサス テクノロジが28nmプロセスのフローでシノプシスのOPC（光近接効果補正）ソリューション「Proteus」を採用したことを発表した。

プレスリリース文

シノプシスによると、ルネサスによる「Proteus」の採用は45nmプロセスの開発フローに続くもので、プロセス・ウィンドウを考慮した高精度なOPCが求められる28nmプロセスにおいて「Proteus」は所望の補正精度を達成した。

「Proteus」は、他社の専用ハードウェアを用いたOPCソリューションと異なり、汎用ハードウェア・プラットフォーム上で運用するOPCソリューションで、リソグラフィー・シミュレーション・エンジンはx86アーキテクチャ向けに最適化されている。そのため、x86 CPUの性能向上に応じてOPC処理の速度を向上でき、利用するCPU数に応じて処理速度を直線的に向上可能。

CPUの性能進化とコンパクト・フィジカル・モデルを用いたシミュレーション・アルゴリズム改善の組み合わせによって、「Proteus」の処理性能は過去3年間で12倍向上しているという。

※日本シノプシス合同会社