メンター、新RETツール「Calibre OPCverify」を発表

2006年1月10日、メンター・グラフィックス社は、次世代OPCテクノロジを搭載した新製品「Calibre OPCverify」を発表した。

プレスリリース：http://mentorg.co.jp/news/2006/060110.html

発表された「Calibre OPCverify」は、プロセス変動による歩留まりの影響をコントロールするためのツールで、設計データがマスクやウェハ製造に渡る前に、ピクセル･ベースのシミュレーションエンジンを用いてプロセス変動によるリソグラフィ的なエラーや境界を検出することができる。

また、Calibre OPCverifyのモデリング機能は、液浸リソグラフィを含めた最先端プロセスのリソグラフィ条件に対して完全に動作保証されており、シミュレーション・モデルは実績のあるCalibre OPCproのモデルを使用し、チップ全体における100%のシミュレーション・カバレッジを提供する。

ツールの運用については、Calibre Verification Centerというユーザー･インタフェースを使うことで、Calibre OPCverifyのセットアップとコンフィギュレーションを容易に構築することができ、Calibre OPCverifyのテラピクセルシミュレータは数百のCPUまで分散処理が可能で、階層データとフラットデータのどちらでも処理することができるという。

※Calibre OPCverifyに関する詳細は、メンター・グラフィックス社までお問い合わせ下さい。　http://mentorg.co.jp