STARCとBRIONが65nmDFMフローの構築で協力>>STARC株主11のうち7社が参加

2007年5月24日、最先端のリソグラフィ・ソリューションを提供するASMLの子会社Brion Technologies社は、STARCと協力して65nm向けのDFMフローの構築に取り組むことを発表した。

プレスリリース：http://www.briontech.com/pressPR_Details.asp?id=84（英文）

発表によると、両社の取り組む65nm向けDFMフローは、Brionのリソグラフィ検証システム「Tachyon」及びBrionのパートナー製EDAツールをベースに構築される予定で、STARCの株主11社のうち7社がプロジェクトに参加する事になっている。

発表に寄せられたSTARC開発第1部 西口信行氏のコメントによると、STARCの加盟各社の殆どが既に「Tachyon」のユーザーで、各社共に全てのプロセスフローで「Tachyon」の生み出す高精度なリソグラフィモデルの使用を希望しているとの事。西口氏は「STARCとBrionの協業は自然なステップである」としている。

※「Tachyon」に関する詳細は、ブライオンテクノロジーズ株式会社にお問い合わせ下さい。
http://www.brion.com

※STARC（?半導体理工学研究センター）
http://www.starc.jp