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EDA各社がGLOBALFOUNDRIESの22FDXプロセス向けツール認証を一斉にアナウンス
2015年11月9日、EDAツールベンダの各社がGLOBAL FOUNDRIESの22nmFDXプロセス向けのリファレンス・フローのサポートを一斉にアナウンスした。
GLOBALFOUNDRIESの22FDXプロセスは、今年の7月に発表されたばかりのFD-SOI（完全空乏型シリコン･オン･インシュレータ）と呼ばれる技術を用いた線幅22nmのプロセスで、GLOBALFOUNDRIESは一般的な28nmプレーナー・プロセスと同等のコストでFinFETの性能と電力効率を実現できるとしている。また22FDXは一般的な28nm技術よりもチップ面積を20%、マスク数を10%削減できるとされており、液浸リソグラフィ層数はFinFETの半分に抑える事ができるという。
※画像はLOBALFOUNDRIESの公開データ
今回22FDXプロセスのリファレンス・フローのサポートを発表したのは、Ansys, ATopTech, Cadence, Mentor Graphics, Synopsysの各社で認証された主要ツールは以下の通り。顔ぶれとしてはTSMCの10nm FinFETで認証されているチームと全く同じだがその中身は若干違う。※関連ニュース
・Ansys:
-スタティック/ダイナミック電圧降下解析ツール「RedHawk」
-エレクトロマイグレーション解析ツール「Totem」の2製品
・ATopTech：
-配置配線ツール「Aprisa」
-フロアプランニング・ツール「Apogee」
・Cadence：
-論理合成ツール「Genus」
-配置配線ツール「Innovus」
-タイミング・サインオフ・ツール「Tempus」
-寄生抽出ツール「Quantus」
・Mentor：
-論理合成ツール「RealTime Designer」
-配置配線ツール「Olympus-SoC」
-フィジカル検証ツール「Caribre」製品群
※「RealTime Designer」は、2013年にMentorが買収したOasys Design Systemsが開発したフィジカル考慮の高速論理合成ツール。大手ファウンドリのリファレンス・フローに登場するのは恐らく今回が初。
・Synopsys：
-論理合成ツール「Design Compiler」
-等価性検証ツール「Formality」
-配置配線ツール「IC Compiler」
-寄生抽出ツール「StarRC」
-タイミング・サインオフ・ツール「PrimeTime」
22FDXプロセスのリファレンス・フロー確立は、先行顧客から一般顧客へのプロセス展開の始動を意味しており、来年後半に予定している22FDXの量産に向けてGLOBALFOUNDRIESは着々と準備を進めているといった様子。22FDXプロセスは独ドレスデンの300mmウエハ・ラインで活用される予定。
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