Mentor、マスク描画/検査装置のニューフレアテクノロジーと連携強化
2011年9月21日、Mentor Grapphicsとマスク描画装置、マスク検査装置を手掛けるニューフレアテクノロジー社は両社のコラボレーション強化を発表した。
今回発表された両社のコラボレーション強化は、高度なマスク描画の実現を目的としたもので、Mentorのマスク作成ほか各種マスクデータ準備ツールやフラクチャリング・ツールの共同販売とサポートを推進するもの。
具体的には、ニューフレアテクノロジーのマスク描画装置「EBM-3000」から「EBM-8000」シリーズで使用される以下のツールがその対象となっている。
・Calibre FRACTUREt
・Calibre FRACTUREv
・Calibre MDPmerge
・Calibre MDPverify
・Calibre nmMPC
・Calibre MDPview