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東芝、シノプシスのTCADシミュレータ「Sentaurus」を採用>>次世代の半導体デバイス・テクノロジの開発で利用
2008年4月24日、シノプシスは、東芝 セミコンダクター社が同社のTCADツール「Sentaurus」を採用したことを発表した。
プレスリリース：http://www.synopsys.co.jp/pressrelease/2008/20080423.html
シノプシスによると、東芝は次世代半導体デバイス開発でのエッチングとデポジションのシミュレーション用にTCADツール「Sentaurus」を採用。その結果、量産開始前と量産期間中にプロセス・マージンを定量的に見積もることによって、次世代デバイスの構造と歩留まりの最適化を実現。研究開発期間と試作コストの削減に成功しているという。
「Sentaurus」は、エッチング、デポジション、その他の表面形状の物理現象のシミュレーションを行うTCADで、「Sentaurus Process」、「Sentaurus Device」、「Sentaurus Topography」という3つの主要機能で構成されている。
今回東芝は、より微細な物理シミュレーションを実現する「Sentaurus Topography」用のモデルとして、主要なエッチング/デポジション・モデルに加えて表面反応速度モデルをシノプシスと共同開発。このモデリング技術によって、形状変化プロセスのシミュレーションに特定のガス化学反応が及ぼす影響もシミュレーションできるようになった。
両社の共同開発によって生まれた表面反応速度のモデリング技術は、「Sentaurus Topography」の新機能として2008年の下半期に一般リリースされる予定となっている。
ちなみに、大手EDAベンダの中でTCADツールを提供しているのは唯一シノプシスだけで、同社のTCADラインナップは強力なDFMソリューションの大きな構成要素となっている。
※日本シノプシス株式会社
http://www.synopsys.co.jp
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