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メンター、第3世代のOPCツール「Calibre nmOPC」を発表>>新機能が満載、Cellを用いた高速処理環境も提供
2006年12月7日、メンター・グラフィックス社は、同社の「Calibre RET製品群」を拡充する新しいOPCツール「Calibre nmOPC」のリリースを発表した。
プレスリリース：http://www.mentorg.co.jp/news/2006/061207.html
「Calibre nmOPC」は、65nm以下のプロセス・テクノロジに向けたOPCツールとして、複雑なリソグラフィ課題に対応するための様々な新機能が装備されており、同じ製品群のOPC検証ツール「Calibre OPCverify」と連携し、高精度なシミュレーションを業界最高レベルの性能で提供する。
生まれ変わった「Calibre nmOPC」の目玉は大きく3つ。
1つは、マスク・レイヤに対して100%のシミュレーション・カバレッジを提供するDenseシミュレーション及びシリコン・パターン形成を保証するプロセス・ウィンドウに最適化されたOPCアルゴリズムの導入で、これら技術によりシリコンの故障リスクを低減し、困難なlow k1条件下で許容できる歩留まりを確保できる。
もう1つは、超高性能プロセッサ「Cell Broadband Engine」を用いた「ハイブリッド・コプロセッサ・コンピューティング・プラットフォーム」の提供で、この環境を利用しリソグラフィ演算処理を高速化することで、増大するCPUの所有コストの削減を実現する。
そして、最後の1つは、新しいコンパクトなレジスト・プロセス・モデルの提供で、第4世代のモデルとして先行モデルよりも精度の高い、45/32nmプロセスに対応するCM1モデルの提供によって、「nmOPC」のDenseシミュレーション機能とコプロセッサ・アクセラレーションの活用効果を高めることができるとしている。
このうち、「ハイブリッド・コプロセッサ・コンピューティング・プラットフォーム」の提供は、高性能コンピューティング・システムをリードする米Mercury Computer Systems社との提携によって実現されているもので、画像処理に強い「Cell」をEDAソリューションに組み込むというアプローチは、非常に斬新かつ興味深いものと言える。
※「Calibre nmOPC」に関する詳細は、メンター・グラフィックス・ジャパン株式会社にお問い合わせ下さい。
http://www.mentorg.co.jp
※Mercury Computer Systems社
http://www.mc.com
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